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1、气态氢化硅的气态氢化气态氢化物为硅烷；

2、硅烷是气态氢化一系列化合物的总称，包括甲硅烷 、气态氢化乙硅烷和一些更高级的气态氢化硅氢化合物。目前应用最多的气态氢化是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。气态氢化硅烷作为一种提供硅组分的气态氢化气体源，可用于制造高纯度多晶硅、气态氢化单晶硅、气态氢化微晶硅、气态氢化非晶硅、气态氢化氮化硅、气态氢化氧化硅、气态氢化异质硅、气态氢化各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。

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